第45回ナノテスティングシンポジウム (NANOTS 2025) Best Interested Paper AwardとBest Commercial Session Presenter Award、若手奨励賞が下記の通り選出されましたので、お知らせ申し上げます。
Best Interested Paper Award
- 講演番号: (15)
- 題目:
- GaN半導体ベースの光電子ビーム技術を用いた電子線誘起によるMOSFETの局所的な電気的駆動のその場SEM観察）
- In-situ SEM observation of electron beam-induced local electrical actuation of MOSFETs using GaN semiconductor-based photoelectron beam technology
- 著者:
- 西谷智博(a, 佐藤大樹(a, 荒川裕太(a, 新美浩太郎(a, 小泉 淳(a, 飯島北斗(a, 本田善央(b, 天野 浩(b
- T. Nishtiani(a, D. Sato(a, Y. Arakawa(a, K. Niimi(a, A. Koizumi(a, H. Iijima(a, Y. Honda(b, H. Amano(b
- 所属:
- a)(株)フォトエレクトロンソウル, b)名古屋大学未来材料・システム研究所
- a)Photo electron Soul Inc., b)Center for Integrated Research of Future Electronics, Institute of Materials and Systems for Sustainability, Nagoya University
Best Commercial Session Presenter Award
- 講演番号: (C7)
- 題目:
- 半導体デバイス不良個所特定新規手法LI EBAC のご紹介
- Introduction of Semiconductor Device Failure Localization Method LI EBAC
- 著者:
- 嶋守智子, 布施潤一, 奈良安彦, 備藤七生
- T. Shimamori, J. Fuse, Y. Nara, N. Bito
- 所属:
- (株)日立ハイテク
- Hitachi High-Tech Corporation
若手奨励賞
- 講演番号: (13)
- 題目:
- SEMにおける二次電子の過渡解析を用いた半導体デバイスの電気特性評価
- Electrical Characterization of Semiconductor Devices using Transient Analysis of Secondary Electrons in SEM
- 著者:
- 庄子美南
- S. Minami
- 所属:
- (株)日立製作所
- Hitachi Ltd.
- 講演番号: (14)
- 題目:
- 電子顕微鏡を用いた電気特性評価
- Electrical Property Estimation Using an Electron Microscope
- 著者:
- 沈 昊哉
- S. Soraya
- 所属:
- (株)日立製作所
- Hitachi Ltd.
