中前会長からの開会挨拶
蛭田智昭 様の招待講演
11/11(火)よりNANOTS2025が開催されております。
参加者数は昨年より増加し252名となりました。ナノテスティング学会会長の中前幸治先生の挨拶から始まり、日立製作所の蛭田智昭様の招待講演「生成AI 支援による設備・保全知識構築と、保全アプリケーション開発」、日立ハイテクのランチョンセミナー、その他に計測の前処理、欠陥検査、AI活用技術などについて初日から多数の参加者が来訪され活発な議論が行われています。
11/12(水)のスケジュールが以下のように変更されています。当初の順番と入れ替わりとなっていますのでご注意ください。
| 14:46-15:11 | (13)SEMにおける二次電子の過渡解析を用いた半導体デバイスの電気特性評価 | 庄子美南(a, 白崎保宏(a, 中村洋平(a, 谷内一史(b | a)(株)日立製作所, b)(株)日立ハイテク |
| 15:11-15:36 | (14)電子顕微鏡を用いた電気特性評価 | 沈 昊哉(a, 中村洋平(a, 庄子美南(a, 大津賀一雄(b | a)日立製作所, b)日立ハイテク |
