以下の招待講演とチュートリアルが確定いたしました。日程についてはプログラム決定次第、公開させていただきます。
招待講演
- 赤堀 浩史 Rapidus株式会社
- ご講演題目：Rapidusの挑戦と、それを支える検査計測技術 (仮)
- 小寺 哲夫 東京科学大学
- ご講演題目：半導体量子ビット研究の基礎と研究動向 (仮)
- 蛭田智昭 株式会社 日立製作所
- ご講演題目：生成AI 支援による設備・保全知識構築と、保全アプリケーション開発 (仮)
チュートリアル
- 姚 永昭 三重大学
- ご講演題目：半導体ウェハ全面に分布する格子欠陥の可視化技術
