表彰

NANOTS2024

Best Interested Paper Award

• 講演番号: (13)
• 題目:
  • ロックイン技術を用いたEBAC感度向上評価（同期式-電子ビーム吸収電流法）
  • Evaluation of EBAC sensitivity improvement using lock-in amplifier
• 著者:
  • 片倉康雄, 辻田順彦, 河村俊夫
  • Y. Katakura, M. Tsujita, T. Kawamura
• 所属:
  • ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング(株)
  • Sony Semiconductor Manufacturing Corporation

Best Commercial Session Presenter Award

• 講演番号: (C9)
• 題目:
  • オージェ電子分光装置(JAMP-9510F)による“Spectrum Image”を用いたSiCデバイスpn接合の可視化
  • Visualization of p-n junctions of SiC devices using “Spectrum Image” using the Auger Electron Spectrometer (JAMP-9510F)
• 著者:
  • 伊木田 木の実, 鍋島 冬樹, 堤 建一
  • K. Ikita, F. Nabeshima, K. Tsutsumi
• 所属:
  • 日本電子株式会社 SA事業ユニット
  • SA business Unit, JEOL Ltd.