委員長
- 中前 幸治 (大阪大学)
委員
- 朝比奈 俊輔 (日本電子)
- 小瀬 洋一 (日立ハイテク)
- 姜 帥現(キオクシア)
- 小島 一信(大阪大学)
- 小山 徹(富士電機)
- 長 康雄 (東北大学)
- 辻田 順彦 (ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング)
- 寺田 浩敏 (浜松ホトニクス)
- 二川 清 (デバイス評価技術研究所)
- 樋口 裕久(日立製作所)
- 前田 一史 (ルネサスエレクトロニクス)
- 山崎 裕一郎 (TASMIT)
Advanced nano-scale testing technologies